真空ポンプ

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。

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2500203868226

●オイルミストトラップ(OMT、OMI)取付用アダプタです。●G3/4オス×G1メス

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2500203948072

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●内径φ9×外径φ24適用ホース口：φ11、φ12●吸気口径：PT1/4×メス●真鍮＋メッキ

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2500204006863

●DTC-41/DTC-41K用の排気弁Ａです。●適合機種：DTC-41/DTC-41K

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2500204402771

●DTC-41/DTC-41K用の排気弁Ｂです。●適合機種：DTC-41/DTC-41K

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2500204402788

●水道に直結しないで使用できるアスピレーターです｡●従来のアスピレーターに比べ､排気性能を大幅にアップしました｡●設置条件などにより､排水はコックタイプとフレキシブルホースタイプの2種類から選択可能です｡

商品コード：

2500205008927

●水道に直結しないで使用できるアスピレーターです｡●従来のアスピレーターに比べ､排気性能を大幅にアップしました｡●設置条件などにより､排水はコックタイプとフレキシブルホースタイプの2種類から選択可能です｡

商品コード：

2500205008934

●耐溶媒仕様の小型真空ポンプです｡●蒸留や濃縮、溶媒を使っての減圧濾過など●電源(V):AC100●排気速度(L/min)50/60Hz:20/23●吸気口径(mm):8●幅(mm):135●奥行(mm):285●高さ(mm):204●消費電力(W):70●到達圧力(Pa):1700●本体寸法全高(mm):204●本体寸法全長(mm):285●本体寸法全幅(mm):135●耐溶媒仕様●強酸､強アルカリを除く腐食性ガスに耐性あり●吸引口に溶媒をトラップするためのトラップびん付き

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2500205008941

サイズ：

●幅(mm):135

●DA-41D他｡●ダイアフラムです｡●適合機種:DA-41D/DA-41DK/DA-81S/DA-81SK/DTC-41/DTC-41K●PTFE

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2500205433835

●DAP-15用ダイアフラムです｡●適合機種:DAP-15●CR

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2500205433842

●DTC-120用ダイアフラムです｡●適合機種:DTC-120●PTFE

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2500205433859

●DTC-60用ダイアフラムです｡●適合機種:DTC-60●PTFE

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2500205433866

●接ガス部に油､水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです｡●大排気量でコンパクトサイズです｡●大気圧から作動が可能です｡●自動機などの真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●排気速度(L/min)50/60Hz:180/200●到達圧力(Pa):10.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm):メネジRc3/8●電源(V):単相100●全幅(mm):172●全長(mm):266●全高(mm):235●電源コード長さ(m):1.8

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2500205438281

サイズ：

●全長(mm):266

●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです｡●化学工業､半導体業界などで使用する特殊なガス､溶剤を扱う真空引きに最適な､耐久性を増したポンプです｡●濃縮機などの化学機器。●半導体製造装置。●製薬機械。●薬品処理後の乾燥。●真空乾燥機、連結乾燥機。

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2500205484264

●小さいサイズながらも､大きな排気速度です｡●装置組込みに適したコンパクトサイズです｡●マグネットカップリング構造により､軸シールからの油漏れが無く､長寿命化を実現しました｡●吸気管直下型逆流防止弁の搭載により､停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します｡●電源コード差込口インレットによる､電源コードの多様化へ対応しました｡●強制給油機構の搭載により､排気速度が安定します｡●大気圧からの作動が可能です｡

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2500205485179

●マルチレンジユニバーサルモータを搭載し､世界中どこの電圧でも対応出来ます｡●簡単な結線変更で多くの電圧に対応出来ます｡●ガスバラスト機構､強制給油機構､油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し､CEマーキング自己宣言品です｡●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。●真空乾燥器、凍結乾燥器。

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2500205486046

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：MD4UNT

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2500202220254

●合成系油拡散ポンプ油です。●油拡散ポンプ油●粘度40℃([[ＭＭ2]]/s)：22.0●密度15℃(g/[[ＣＭ3]])：0.936●引火点(℃)：235●蒸気圧Pa(Torr)：7×10[[の-6乗]]以下(5×10[[の-8乗]]以下)●容量(L)：1●引火点：235℃●蒸気圧：7×10[[の-6乗]]Pa以下(5×10[[の-8乗]]Torr以下)●火気厳禁

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2500202992472

●ロータリーポンプのオイル逆拡散を捕捉します。●オイルミストに対して99.7％の卓越した吸着特性を発揮します。●飽和に達するまでの寿命が極めて長く、吸着剤を含むバスケットを250℃～300℃で2時間加熱すると再生します。●本体はアルミニウム製で、吸着剤が入った着脱式バスケットが付属しています。●ロータリーポンプの油煙の捕集。●適合機種：RVシリーズ、E2Mシリーズ

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2500200929463

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相200●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201447560

サイズ：

●吸気口径：１４ｍｍ●全幅：１６２ｍｍ●全長：３５８ｍｍ●全高：２３８．０ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-121D●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブ押えA×2、バルブC×1、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×2、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2

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2500201447584

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：12/15●到達圧力(Pa)：6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

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2500201447669

サイズ：

●吸気口径：９ｍｍ●全幅：１３２ｍｍ●全長：２０３ｍｍ●全高：１８２．０ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-15D、DA-30S●ダイアフラム×2、バルブ×2、フィルタ×4、テフロンライナー×2、Oリング(P-30)×4

商品コード：

2500201447676

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-20D、DA-40S●ダイアフラム×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

商品コード：

2500201447843

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：240/260●到達圧力(Pa)：16.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：207●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：207×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●高速高圧用●バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447911

サイズ：

●吸気口径：１６ｍｍ●全幅：２０７ｍｍ●全長：４１１ｍｍ●全高：２８５ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-30D、DA-60S●ダイアフラム×2、ヘッドガスケット×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×4

商品コード：

2500201448062

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：24/30●到達圧力(Pa)：26.6×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

商品コード：

2500201448079

サイズ：

●吸気口径：９ｍｍ●全幅：１３２ｍｍ●全長：２０３ｍｍ●全高：１８２．０ｍｍ

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：157●全長(mm)：336.5●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ9×I.D.φ6(G1/4)●最大寸法(mm)：157(W)×336.5(L)×217(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす

商品コード：

2500201448369

サイズ：

●吸気口径：１２ｍｍ●全幅：１５７ｍｍ●全長：３３６．５ｍｍ●全高：２１７ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-41D、DA-41DK●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブB×1、バルブ押えA×2、バルブ押えB×1、吸排気フィルタ×2、Oリング(S-28)×6、Oリング(P-10A)×2、Oリング(S-4)×2

商品コード：

2500201448376

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：60/72●到達圧力(Pa)：3.32×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相100●全幅(mm)：156●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●寸法(mm)：156×358×238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポ

商品コード：

2500201448604

サイズ：

●吸気口径：１４ｍｍ●全幅：１５６ｍｍ●全長：３５８ｍｍ●全高：２３８．０ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-60D、DA-120S、DAH-60●ダイアフラム×2、吸排気弁×16、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

商品コード：

2500201448611

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：75/85●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：181●全長(mm)：336.5●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす

商品コード：

2500201448758

サイズ：

●吸気口径：１２ｍｍ●全幅：１８１ｍｍ●全長：３３６．５ｍｍ●全高：２１７ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-81S、DA-81SK●ダイアフラム×2、バルブA×2、バルブB×2、バルブ押えA×2、バルブ押えB×2、吸排気フィルタ×3、Oリング(S-28)×6、Oリング(P-10A)×2、Oリング(S-4)×2

商品コード：

2500201448765

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：75/85●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：153●全長(mm)：288●全高(mm)：202●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448772

サイズ：

●吸気口径：１２ｍｍ●全幅：１５３ｍｍ●全長：２８８ｍｍ●全高：２０２ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAL-181D●ダイアフラム×4、排気フィルタ×4、バルブA×6、バルブ押えA×4、バルブC×2、バルブ押えB×4、Oリング(P-48)×8、Oリング(P-18)×11

商品コード：

2500201449366

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAL-361S●ダイアフラム×4、吸気フィルタ×2、排気フィルタ×4、バルブA×4、バルブ押えA×4、バルブC×4、バルブ押えB×4、Oリング(P-48)×8、Oリング(P-18)×11

商品コード：

2500201449380

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：12/24●到達圧力(Pa)：24.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：Rc1/8●電源(V)：単相100●全幅(mm)：91●全長(mm)：163●全高(mm)：100.6●電源コード長さ(m)：2●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201449519

サイズ：

●吸気口径：Ｒｃ１／８ｍｍ●全幅：９１ｍｍ●全長：１６３ｍｍ

●減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。●吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。●加圧圧力は150kPaです。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：15/18●到達圧力(Pa)：39.9×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：115●全長(mm)：178.5●全高(mm)：153.5●電源コード長さ(m)：2●減圧・加圧両用●加圧圧力：150kPa●1段排気方式●加圧圧力(ゲージ圧)(MPa)：0.15●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用

商品コード：

2500201449540

サイズ：

●吸気口径：９ｍｍ●全幅：１１５ｍｍ●全長：１７８．５ｍｍ●全高：１５３．５ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-15●ダイアフラム×1、吸排気弁×2、エアーフィルタ×2、ヘッドガスケット×1

商品コード：

2500201449564

●減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。●吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。●加圧圧力は150kPaです。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：33.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：142●全長(mm)：215.0●全高(mm)：180●電源コード長さ(m)：2●減圧・加圧両用●加圧圧力：150kPa●1段排気方式●一台から異電圧に別作対応●加圧圧力(ゲージ圧)(MPa)：0.15●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用下さい。

商品コード：

2500201449571

サイズ：

●吸気口径：９ｍｍ●全幅：１４２ｍｍ●全長：２１５．０ｍｍ●全高：１８０ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-30●ダイアフラム×1、ヘッドガスケット×1、吸排気弁×2、エアーフィルタ×2、Oリング(P-10)×2

商品コード：

2500201449588

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：6/7●到達圧力(Pa)：6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：Rc1/8●電源(V)：単相100●全幅(mm)：91●全長(mm)：163●全高(mm)：100.6●電源コード長さ(m)：2●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

商品コード：

2500201449595

サイズ：

●吸気口径：Ｒｃ１／８ｍｍ●全幅：９１ｍｍ●全長：１６３ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-6D、DAP-12S、DAP-9D、DAP-18S●ダイアフラム×2、バルブ×4、ヘッドガスケット×2

商品コード：

2500201449601

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAT-100S●ダイアフラム×2、ポンプヘッドガスケット×2、吸排気弁×6、エアーフィルタ×3

商品コード：

2500201451024

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：50/55●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：150●全長(mm)：232●全高(mm)：305●寸法(mm)：150×232×305●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●最大寸法(mm)：150(W)×232(L)×305(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201451062

サイズ：

●吸気口径：１２ｍｍ●全幅：１５０ｍｍ●全長：２３２ｍｍ●全高：３０５ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAU-100●ダイアフラム×4、バルブ×12、ヘッドガスケット×4、Oリング(P-18)×1、Oリング(P-10)×7、弁板×1

商品コード：

2500201451123

●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。●ロードロック室排気。●吸着搬送、ハンドリング。●レーザーガス循環・排気用。●真空乾燥装置、連結真空乾燥装置●排気速度(L/min)50/60Hz：20/23●到達圧力(Pa)：200●吸気口径(mm)：10●電源(V)：単相100●全幅(mm)：161●全長(mm)：327●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●3段排気方式●接ガス部耐食性●一台から異電圧に別作対応●到達圧力(KPa)：0.2●吸排気管径(mm)：O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)●最大寸法(mm)：161(W)×327(L)×218(H)●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201451130

サイズ：

●吸気口径：１０ｍｍ●全幅：１６１ｍｍ●全長：３２７ｍｍ●全高：２１７ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAU-20●ダイアフラム×4、バルブ×6、バルブ穴あり×2

商品コード：

2500201451147

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：20/24●到達圧力(Pa)：1.3●吸気口径(mm)：18●電源(V)：単相100●全幅(mm)：156●全長(mm)：295.5●全高(mm)：199.5●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：2.0●一台から異電圧に別作対応●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

商品コード：

2500201724050

サイズ：

●吸気口径：１８ｍｍ●全幅：１５６ｍｍ●全長：２９５．５ｍｍ

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-20DA●パーツ内容：オイルシール、Oリング、排気弁、ベーン●第1ベーン×2、ベーンスプリング×3、第2ベーン×2、排気弁×3、オイルレベルゲージ×1、スパイダー×1、オイルシールHTC-11-25-7×1、オイルシールSC-12-25-7×1、OリングS-15×1、OリングS-29×1、OリングS-120.9×1、OリングP-8×1、OリングP-18×1

商品コード：

2500201724067